咨詢熱線 138-8223-7898 |
四川久光科技有限公司
聯系電話:13882237898
電子郵箱:dxc468@126.com
微信號:dxc468
網址:www.amexra.com
公司地址:成都市雙流縣西南航空港經濟開發區工業集中區
衍射光學元件(Diffractive Optical Elements, DOE)是光刻機中一系列可動的鏡片(圖1所示),主要用于產生光刻所需要的光源。一臺光刻機的光源大概有4000片鏡片。
衍射光學元件的特點
一段光刻膠線條的示意圖
光沿著直線傳播,當光穿過一個小孔或經過一個輪廓分明的邊緣時,沿小孔邊緣產生了干涉圖形,結果得到了一個模糊的圖像,而不是希望出現在光和陰影之間的清晰邊緣,如圖2。光看上去沿狹縫邊緣彎曲了。這種現象被稱做衍射 。